| 해결: | 3nm@30KV(SE) | 확대: | 음의 배율:6X~300000X 화면 배율:12X~600000X |
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| 표본 단계: | 5축 스테이지 | 전자총: | 텅스텐 가열 음극-전 중심 텅스텐 필라멘트 카트리지 |
| 하이 라이트: | sem 전자 현미경,sem 기계 |
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SEM , EM6900 Std , 텅스텐 필라멘트 , SE+BSE , 분해능 3nm@30KV(SE)
60년 이상의 KYKY SEM 제조 경험을 바탕으로 전체 EM 시리즈는 STM, AFM, 가열 단계, 극저온 단계, 인장 단계, 마이크로와 통합된 전자빔 리소그래피 리모델링, LaB6 업그레이드와 같은 SEM+와 같은 오래된 시스템 개조 및 맞춤형 시스템을 지원합니다. 나노 매니퓰레이터 등 시스템은 또한 시장에 있는 대부분의 분석 검출기를 부착하기 위해 챔버에 다중 인터페이스를 가지고 있습니다.
텅스텐 필라멘트 SEM에서 얻을 수 있는 최대 분해능을 갖춘 표준 EM6900은 SE+BSE를 번들로 제공하는 가장 편리한 검출기를 갖추고 있습니다. 텅스텐 필라멘트 SEM을 기반으로 한 신장 분석.
다중 언어 운영 시스템, 통합 제어판, 고객은 마우스와 키보드로 전체 장치를 간단하게 제어할 수 있으며 평생 기술 지원이 포함된 포괄적인 애프터 서비스 계획입니다.
장점:
◆ 고해상도
◆ 업그레이드 가능한 랩6, 거대한 샘플 스테이지 등
◆ 여러 수정 계획
◆ 자동화된 소프트웨어의 전체 세트
◆ 낮은 유지비
명세서:
| 안건 | EM6900 Std 텅스텐 필라멘트 SEM | |
| 해결 | 3nm@30KV(SE) 6nm@30KV(BSE) | |
| 확대 | 음의 배율:6X~300000X 화면 배율:12X~600000X | |
| 전자총 | 텅스텐 가열 음극-전 중심 텅스텐 필라멘트 카트리지 | |
| 가속 전압 | 0 ~ 30KV | |
| 렌즈 시스템 | 3단 전자파 렌즈(테이퍼 렌즈) | |
| 대물 조리개 | 몰리브덴 조리개 조정 가능한 외부 진공 시스템 | |
| 표본 단계 | 5축 스테이지 | |
| 여행하다 | X(자동) | 0 ~ 80mm |
| 범위 | Y(자동) | 0 ~ 60mm |
| Z(수동) | 0 ~ 50mm | |
| R(수동) | 360° | |
| T(수동) | -5° ~ 90° | |
| 최대 시편 직경 | 175mm | |
| 탐지기 | 고진공 2차 전자 검출기 | |
| 반도체 4분할 후방 산란 검출기 | ||
| IR CCD | ||
| 가감 | 스테이지 업그레이드;EBL;STM;원자현미경;가열 단계;극저온 스테이지;인장 단계 ;마이크로나노 매니퓰레이터;SEM+코팅기, SEM+레이저 | |
| 부속품 | LaB6,엑스선 검출기(EDS),EBSD,CL,WDS,코팅기 | |
| 진공 시스템 | 터보 분자 펌프, 회전 펌프 | |
담당자: sales
전화 번호: +8613810212935
