| Resolution: | SE 1.5nm@15kV BSE 3nm@30kV | Magnification: | 1x-600000x |
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| Accelerating Voltage: | 0.2kV-30kV | Max Specimen Diameter: | 175mm |
| 강조하다: | 주사 전자 현미경 기기,sem 기계 |
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장점 :
◆ Schottky Field Emission Gun
◆ 다단계 고성능 렌즈 시스템
◆ 높은 빔 안정성
◆ 맞춤형 추가 샘플 챔버
◆ 간단한 작동
◆ 풍부한 확장 성 및 고가의 성능
명세서:
| 목 | EM8010 | |
| 해결 |
SE 1.5NM@15KV BSE 3NM@30KV
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| 확대 |
1x-600000x
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| 전자 총 | Schottky Field Emission Gun | |
| 가속 전압 |
0.2KV-30KV
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진공 시스템
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2 개의 이온 펌프, 1 개의 자기 공장 터보 분자 펌프, 1 개의 드라이 펌프
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| 객관적인 조리개 | 몰리브덴 조리개 외부 진공 시스템 조절 가능 | |
| 시편 단계 | 5 개의 축 스테이지 | |
| 여행하다 | x (자동) | 0 ~ 80mm |
| 범위 | Y (자동) | 0 ~ 50mm |
| Z (매뉴얼) | 0 ~ 30mm | |
| R (매뉴얼) | 360 ° | |
| t (매뉴얼) | -5 ° ~ 70 ° | |
| 최대 시편 직경 | 175mm | |
| 탐지기 |
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| 가감 | 스테이지 업그레이드; ebl; stm; afm; 가열 단계; 냉동 단계; 인장 단계; 마이크로-나노 조작기; SEM+코팅 기계; SEM+레이저 | |
| 부속품 |
EDS/EBSD/STEM/CL/가열 단계/냉각 단계/인장 단계 등
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담당자: Ms. Wang He
전화 번호: 86-10- 82548271
팩스: 86-010-62564613
