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제품 상세 정보:
결제 및 배송 조건:
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펌핑 속도: | 1401L/s | 매끄럽게 하기: | 자기 부상 |
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플랜지: | ISO-F/CF 200 | 냉각: | 물 |
이름: | 제로 마찰 5 축 터보 분자 펌프 부식 방지 | 예어: | 터보 분자 펌프 |
하이 라이트: | 제로 마찰 터보 분자 펌프,5 축 터보 분자 펌프,터보 분자 펌프 부식 방지 |
수냉식 자기 부상 윤활 터보 분자 펌프 CE
기술:
명세서:
모델 | CXF-200/1401 |
펌프 속도(l/s, 공기) | 1400 |
압축비 | >1×107 |
궁극진공(Pa) | ≤2×10-6 |
입구 플랜지 | DN200 ISO K(LF) |
DN200 ISO F | |
DN200 ISO CF | |
콘센트 플랜지 | KF 40 |
회전수(rpm) | 33000 |
가동시간(분) | 6 |
VIB(mm) | <0.05 |
배압 펌프(L/s) | 15 |
장착 또는 방향 | 어느 |
냉각 방법 | 물 |
무게(kg)(컨트롤러 포함) | 51 |
신청:
시리즈 자기 부상 분자 펌프는 주로 반도체 제조, 클립 제조, 산업 도금 및 과학 기기 분야, 특히 에칭, CVD, PVD 및 이온 주입에 존재하는 부식성 가스 추출 및 상온에서 쉽게 응고되는 가스에 적용됩니다.
담당자: sales
전화 번호: +8613810212935