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제품 소개터보 분자 펌프

외부 컨트롤러 자기 부상 펌프 터보 진공 펌프 수냉식 모터 드라이브

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외부 컨트롤러 자기 부상 펌프 터보 진공 펌프 수냉식 모터 드라이브

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큰 이미지 :  외부 컨트롤러 자기 부상 펌프 터보 진공 펌프 수냉식 모터 드라이브

제품 상세 정보:
원래 장소: 중국
브랜드 이름: KYKY
인증: CE
모델 번호: CXF-250/2300E
결제 및 배송 조건:
최소 주문 수량: 1
포장 세부 사항: 해외배송용 나무상자
배달 시간: 4 주
지불 조건: T/T, L/C
상세 제품 설명
매끄럽게 하기: 자기 부상 플랜지: ISO-K/CF
냉각: 펌핑 속도: 2300L/s N2
하이 라이트:

터보 분자 펌프

,

터보 분자 진공 펌프

자기 부상 펌프, CXF-250/2300, ISO-K/CF, 수냉식, 외부 컨트롤러

자기 부상 분자 펌프는 현대 반도체 제조, 칩 제조, 산업 도금 및 과학 기기 분야의 응용 요구 사항을 충족하는 자력에 의해 샤프트가 지원되는 펌프입니다.

 

기술:

  • 자기 베어링을 위한 제어 기술: 고도의 국제 제어 이론을 기반으로 하는 5축 자기 부상은 고속 샤프트의 안정적인 부상 및 안정적인 작동과 같은 상당한 이점을 보장합니다.
  • 모터 드라이브 제어 기술: 고효율 고속 DC 모터 및 서보 제어 시스템은 모터의 최대 에너지를 가지며 샤프트의 회전 속도를 자동으로 보상하여 안정적인 시동, 안정적인 작동 및 동적 에너지의 자동 조절 기능을 실현합니다.
  • 탄소 섬유 복합 로터 기술: 고강도 알루미늄 합금과 경량 탄소 섬유를 합성하여 제작되었습니다.경량화, 강도향상을 크게 하여 고속회전, 고성능, 고신뢰성을 목표로 하고 있습니다.
  • 부식 방지 기술: 챔버 내 부품의 표면은 반도체 제조 공정에서 부식성 가스로 인한 부식에 장기간 저항할 수 있도록 특수 처리되어 있습니다.또한 N2와 같은 불활성 가스를 펌프의 샤프트에 완전히 채워 펌프의 저진공 부분을 보호하여 부식성 가스를 장기간 안정적으로 배출하는 기능을 구현합니다.
  • 난방 온도 제어 시스템: 전기 히터 및 온도 조절기가 장착되어 있어 냉각수, 공기 뼈 가열, 전기 가열 및 보호 가스에 의해 운반되는 열을 작동 중에 모니터링 및 제어할 수 있습니다. 펌프의 온도는 장기간 일정 값으로 유지될 수 있으며 일부 기체 물질은 상온에서 고체 물질로 전환되지 않고 펌프에 침전되지 않으며 에칭과 같은 특수 공정에 대한 요구 사항을 충족할 수 있습니다.

 

이점들:

이 펌프는 작동 중 마찰이 없고 저전력 소모라는 장점이 있습니다. 펌프에 윤활제를 바르지 않고도 정말 깨끗한 고진공 및 초고진공을 쉽게 얻을 수 있으며 장기간 부식성 가스를 추출할 수 있습니다. 보호로 인해 높은 안전성과 긴 수명 정밀 세라믹 볼 베어링과 갑작스런 정전 시 발전 기능.마찰, 오염, 유지보수가 없고 진동이 적은 장점이 있으며 어떤 방향으로도 설치가 가능합니다.

 

신청:

반도체 제조, 클립 제조, 산업 도금 및 과학 기기 분야에서 에칭, CVD, PVD 및 이온 주입에 존재하는 부식성 가스 및 상온에서 쉽게 응고되는 가스의 추출.

 

사양:

플랜지(인) DN250 CF/ISO-K, ISO-F
플랜지(아웃) KF DN40
펌핑 속도(L/s) N2:2300
아르:2250
그:1900
시간2:850
압축비 N2:108
아르:108
그:104
시간2:10
극한압력(Pa) CF:1×10-6
ISO-K/F:6×10-6
최대연속 전진공압(Pa) 60
최대전진공 압력 N2:250
전체 가스(sccm) N2:3600
아르:1400
그:2800
시간2:2100
회전 속도(rpm) 27000
가동시간(분) ≤11
냉각 유형, 표준
냉각수 소비량(L/min) 1
냉각수 온도(℃) 20
전원 연결: 전압(V AC) 220
컨트롤러 모델 CXF-2300
무게(kg) 59(ISO-K/F) 62(CF)

연락처 세부 사항
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담당자: sales

전화 번호: +8613810212935

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