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제품 상세 정보:
결제 및 배송 조건:
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| 플랜지: | DN150CF | 궁극의 압력: | 7E-8 Pa |
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| 전압: | -5KV | 펌핑 속도: | 110L/s 공기 |
| 하이 라이트: | 배리언 이온 펌프,스타셀 이온 펌프 |
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이온 펌프 , 3L-100 , DN150CF , 110L/s 공기 , 24L/s Ar , -5KV , 2.7E-8Pa
스퍼터 이온 펌프는 깨끗하고 초고진공을 얻기 위한 진공발생장치입니다.스퍼터 이온 펌프는 오일리스 초고진공 세트의 메인 펌프입니다.이온 펌프는 연속 작동 백킹 펌프가 필요하지 않은 폐쇄 시스템에서 작동합니다.
원칙:
양극의 재질은 스테인레스 스틸 배럴이고 음극의 재질은 티타늄 플레이트입니다.페닝 방전 과정은 자기장과 전기장의 결합 작용으로 가스를 이온화하여 가스 배출을 실현합니다.
3극관 이온 펌프는 불활성 가스의 펌핑 속도를 높이기 위해 개선되었습니다.불활성 가스의 이온은 음극의 티타늄 격자에 스침 입사를 받은 다음 중화되고 펌프 벽과 양극에 반사되어 티타늄 필름으로 묻힙니다.펌프 벽에 묻힌 불활성 가스는 양이온 충격으로 인해 방출되지 않으므로 불활성 가스의 펌핑 속도가 증가합니다.
장점:
이 시리즈의 펌프는 청정도, 고진공도, 제로 노이즈, 제로 진동 및 작동 편의성과 같은 장점을 가지고 있습니다.
신청:
1. 고에너지 입자가속기
2. 열핵반응제어장치
3. 전기 진공 장치
4. 반도체 재료
5. 전자현미경
6. 질량분석기
명세서:
| 모델 | 3L-100 | |||
| 플랜지 | DN150CF | |||
| 펌핑 속도(L/S) | ( 공기) | 110 | ||
| 펌핑 속도 | (아르) | 24 | ||
| 시동 압력(Pa) | ≤5×10-4 | |||
| 극한 압력(Pa) | 7×10-8 | |||
| (℃) 베이킹 온도 | ＜200 | |||
| 마그네틱으로 | ||||
| 자기 없이 | <300 | |||
| 작동 전압(KV) | -5 | |||
| 전극 유닛 | 4 | |||
| 치수(mm) | 140×210(4-M10) | |||
| 폭*높이(mm) | 350×250×307 | |||
| (kg) 무게 | 38 | |||
담당자: sales
전화 번호: +8613810212935
