해결: | 4.5nm@30KV(SE) | 확대: | 음의 배율:15X~250000X 화면 배율:30X~500000X |
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가속 전압: | 0 ~ 30KV | 최대 시편 직경: | 150mm |
하이 라이트: | 주사 전자 현미경 기기,sem 기계 |
SEM , EM6200 Eco , 텅스텐 필라멘트 , 분해능 4.5nm@30KV(SE)
KYKY 주사형 전자현미경 목록의 베스트 셀러 모드인 EM3200의 업그레이드 버전으로 2014년부터 매년 20개 이상의 판매량을 기록하고 있으며 시장에서 구할 수 있는 가장 저렴한 바닥 장착형 SEM입니다.다중 언어 운영 시스템, 통합 제어판, 고객은 마우스와 키보드로 전체 장치를 간단하게 제어할 수 있으며 평생 기술 지원이 포함된 포괄적인 애프터 서비스 계획입니다.60년 이상의 KYKY SEM 제조 경험으로 전체 EM 시리즈는 전자빔 리소그래피 리모델링, LaB6 업그레이드, STM, AFM, 가열 단계, Cryo Stage, Tensile Stage, Micro- 나노 매니퓰레이터 등 시스템은 또한 시장에 있는 대부분의 분석 검출기를 부착하기 위해 챔버에 다중 인터페이스를 가지고 있습니다.
장점:
◆ 저렴한 SEM
◆ 영문 조작반,
◆ 자동화된 소프트웨어의 전체 세트
◆ 수정 서비스 가능
◆ 베스트셀러 SEM
명세서:
안건 | EM6200 에코 텅스텐 필라멘트 SEM | |
해결 | 4.5nm@30KV(SE) 6nm@30KV(BSE) | |
확대 | 음의 배율:15X~250000X 화면 배율:30X~500000X | |
전자총 | 텅스텐 가열 음극-전 중심 텅스텐 필라멘트 카트리지 | |
가속 전압 | 0 ~ 30KV | |
렌즈 시스템 | 3단 전자파 렌즈(테이퍼 렌즈) | |
대물 조리개 | 몰리브덴 조리개 조정 가능한 외부 진공 시스템 | |
표본 단계 | 5축 스테이지 | |
여행하다 | X(자동) | 0 ~ 50mm |
범위 | Y(자동) | 0 ~ 50mm |
Z(수동) | 0 ~ 25mm | |
R(수동) | 360° | |
T(수동) | -5° ~ 90° | |
최대 시편 직경 | 150mm | |
탐지기 |
고진공 2차 전자 검출기(검출기 보호 포함) | |
가감 | Stage Upgrade;EBL;STM;AFM;Heating Stage;Cryo Stage;Tensile Stage;Micro-nano Manipulator;SEM+Coating Machine;SEM+Laser | |
부속품 | CCD, LaB6, X선 검출기(EDS), EBSD, CL, WDS, 코팅기 | |
진공 시스템 | 터보 분자 펌프, 회전 펌프 | |
PC | 맞춤형 Dell 워크스테이션 |
담당자: sales
전화 번호: +8613810212935