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자기 부상 윤활 터보 분자 펌프 워터 쿨 CE

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자기 부상 윤활 터보 분자 펌프 워터 쿨 CE

큰 이미지 : 자기 부상 윤활 터보 분자 펌프 워터 쿨 CE

제품 상세 정보:

원래 장소:	중국
브랜드 이름:	KYKY
인증:	CE
모델 번호:	CXF-200/1401E

결제 및 배송 조건:

최소 주문 수량:	1
포장 세부 사항:	해외배송용 나무상자
배달 시간:	4 주
지불 조건:	T/T, L/C

상세 제품 설명

펌핑 속도:	1401L/s	매끄럽게 하기:	자기 부상
플랜지:	ISO-F/CF 200	냉각:	물
이름:	물 냉각 자기 부상 윤활 터보 분자 펌프 ce	예어:	터보 분자 펌프
하이 라이트:	자기 부상 윤활 터보 분자 펌프 , 수냉식 터보 분자 펌프 , ce 터보 분자 진공 펌프

수냉식 자기 부상 윤활 터보 분자 펌프 CE

자기 부상 분자 펌프는 자력에 의해 샤프트가 지지되는 펌프입니다.

시리즈 자기 부상 분자 펌프는 현대 반도체 제조, 칩 제조, 산업 도금 및 과학 기기 분야의 응용 요구 사항을 충족하기 위해 KYKY에서 개발한 진공 발생 장비입니다.

자기 베어링을 위한 제어 기술: 채택된 전자기는 5축 자기 부상입니다.이 디자인은 고급 국제 제어 이론에 기반한 동적 능동 폐쇄 회로 자기 서스펜션 제어 기술을 통해 동적 응답과 적시 조정을 가질 수 있으므로 고속 샤프트의 이러한 중요한 이점을 안정적인 부상 및 안정적인 작동으로 보장합니다.
모터 구동 제어 기술: 직렬 자기 부상 펌프에 고효율 고속 DC 모터 및 서보 제어 시스템을 적용하여 모터의 최대 에너지를 확보하고 축 회전 속도를 자동으로 보상하여 안정적인 시동을 실현하고, 동적 에너지의 안정적인 작동 및 자동 조절 기능.
탄소 섬유 복합 로터 기술: 직렬 자기 서스펜션 분자 펌프의 터보 로터는 고강도 알루미늄 합금과 경량 탄소 섬유를 합성하여 만들어집니다.모든 알루미늄 합금 로터와 비교하여 터보 로터는 중량 감소 및 강도 향상이 특징이므로 고속 회전, 고성능 및 고신뢰성의 목표를 달성합니다.
부식 방지 기술: 직렬 자기 서스펜션 분자 펌프의 챔버 부품 표면은 특수 공정으로 처리되어 표면이 반도체 제조 공정에서 부식성 가스로 인한 부식에 장기간 저항할 수 있습니다.또한 N2와 같은 불활성 가스를 펌프의 샤프트에 완전히 채워 펌프의 저진공 부분을 보호하여 부식성 가스를 장기간 안정적으로 배출하는 기능을 구현합니다.
가열 온도 제어 시스템: 시리즈 자기 부상 분자 펌프에는 전기 히터와 온도 컨트롤러가 장착되어 있어 냉각수, 공기 뼈 가열, 전기 가열 및 보호 가스에 의해 운반되는 열을 작동 중에 모니터링하고 제어할 수 있습니다. 펌프는 장기간 일정 값을 유지할 수 있으며 일부 기체 물질은 상온에서 고체 물질로 변환되지 않고 펌프에 침전되지 않으며 에칭과 같은 특수 공정에 대한 요구 사항을 충족할 수 있습니다.

명세서:

모델	CXF-200/1401
펌프 속도(l/s, 공기)	1400
압축비	>1×107
궁극진공(Pa)	≤2×10-6
입구 플랜지	DN200 ISO K(LF)
	DN200 ISO F
	DN200 ISO CF
콘센트 플랜지	KF 40
회전수(rpm)	33000
가동시간(분)	6
VIB(mm)	<0.05
배압 펌프(L/s)	15
장착 또는 방향	어느
냉각 방법	물
무게(kg)(컨트롤러 포함)	51