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제품 상세 정보:
결제 및 배송 조건:
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| 펌핑 속도: | 1401L/s | 매끄럽게 하기: | 자기 부상 |
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| 플랜지: | ISO-F/CF 200 | 냉각: | 물 |
| 이름: | 산업용 온보드 1401l/s 터보 분자 진공 펌프 | 예어: | 터보 분자 진공 펌프 |
| 하이 라이트: | 1401l/s 터보 분자 진공 펌프,온보드 터보 분자 진공 펌프,자기 부상 윤활 터보 분자 진공 펌프 |
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자기 부상 펌프, CXF-200/1401, 수냉식, 온보드
전자기 베어링은 자기 베어링, 센서 및 제어 시스템으로 구성된 "능동 자기 부상 곰"이라고도 합니다.이 디자인은 동적 응답과 적시 조정, 고속 샤프트 및 안정적인 작동을 제공합니다.
자기 부상 분자 펌프는 자력에 의해 샤프트가 지지되는 펌프입니다.
시리즈 자기 부상 분자 펌프는 현대 반도체 제조, 칩 제조, 산업 도금 및 과학 기기 분야의 응용 요구 사항을 충족하기 위해 KYKY에서 개발한 진공 발생 장비입니다.
이점들:
1. 작동 중 마찰이 없고 전력 소모가 적습니다.
2. 펌프에 무급유로 정말 깨끗한 고진공 및 초고진공 획득 용이
3. 장기간 부식성 가스 추출 가능
4. 정밀 세라믹 볼로 베어링을 보호하여 높은 안전성과 긴 수명
5. 전원이 갑자기 꺼졌을 때 전원을 발생시키는 기능
명세서:
| 모델 | CXF-200/1401 |
| 펌프 속도(l/s, 공기) | 1400 |
| 압축비 | >1×107 |
| 궁극진공(Pa) | ≤2×10-6 |
| 입구 플랜지 | DN200 ISO K(LF) |
| DN200 ISO F | |
| DN200 ISO CF | |
| 콘센트 플랜지 | KF 40 |
| 회전수(rpm) | 33000 |
| 가동시간(분) | 6 |
| VIB(mm) | <0.05 |
| 배압 펌프(L/s) | 15 |
| 장착 또는 방향 | 어느 |
| 냉각 방법 | 물 |
| 무게(kg)(컨트롤러 포함) | 51 |
신청:
시리즈 자기 부상 분자 펌프는 주로 반도체 제조, 클립 제조, 산업 도금 및 과학 기기 분야, 특히 에칭, CVD, PVD 및 이온 주입에 존재하는 부식성 가스 추출 및 상온에서 쉽게 응고되는 가스에 적용됩니다.
담당자: sales
전화 번호: +8613810212935
