자기 부상 터보 분자 진공 펌프 저진동 CXF-320/3000E

자기 부상 펌프 , CXF-320/3000E , Waterr 냉각 , ISO-F , 외부 컨트롤러

자기 부상 분자 펌프는 자력에 의해 샤프트가 지지되는 펌프입니다.

시리즈 자기 부상 분자 펌프는 현대 반도체 제조, 칩 제조, 산업 도금 및 과학 기기 분야의 응용 요구 사항을 충족하기 위해 KYKY에서 개발한 진공 발생 장비입니다.

전자기 베어링은 자기 베어링, 센서 및 제어 시스템으로 구성된 "능동 자기 부상 곰"이라고도 합니다.이 디자인은 동적 응답과 적시 조정, 고속 샤프트 및 안정적인 작동을 제공합니다.

이점들:

1. 작동 중 마찰이 없고 전력 소모가 적습니다.

2. 펌프에 무급유로 정말 깨끗한 고진공 및 초고진공 획득 용이

3. 장기간 부식성 가스 추출 가능

4. 정밀 세라믹 볼로 베어링을 보호하여 높은 안전성과 긴 수명

5. 전원이 갑자기 꺼졌을 때 전원을 발생시키는 기능

6. 마찰이 없음

7. 무공해

8. 유지 보수가 필요 없음

9. 낮은 진동

10. 모든 방향으로 설치됩니다.

기술:

• 자기 베어링을 위한 제어 기술: 5축 자기부상.이 디자인은 고급 국제 제어 이론에 기반한 동적 능동 폐쇄 회로 자기 서스펜션 제어 기술을 통해 동적 응답과 적시 조정을 가질 수 있으므로 고속 샤프트의 이러한 중요한 이점을 안정적인 부상 및 안정적인 작동으로 보장합니다.
• 모터 드라이브 제어 기술: 시리즈 자기부상식 펌프에 고효율 고속 DC 모터와 서보 제어 시스템을 적용하여 모터의 최대 에너지를 확보하고 축 회전 속도를 자동으로 보상하여 안정적인 시동, 안정적인 운전 및 자동 조절을 실현합니다. 동적 에너지의 기능.
• 탄소 섬유 복합 로터 기술: 직렬 자기 서스펜션 분자 펌프의 터보 ​​로터는 고강도 알루미늄 합금과 경량 탄소 섬유를 합성하여 만들어집니다.모든 알루미늄 합금 로터와 비교하여 터보 로터는 중량 감소 및 강도 향상이 특징이므로 고속 회전, 고성능 및 고신뢰성의 목표를 달성합니다.
• 부식 방지 기술: 시리얼 마그네틱 서스펜션 분자 펌프의 챔버 부품 표면은 특수 공정으로 처리되어 표면이 반도체 제조 공정에서 부식성 가스로 인한 부식에 장기간 저항할 수 있습니다.또한 N2와 같은 불활성 가스를 펌프의 샤프트에 완전히 채워 펌프의 저진공 부분을 보호하여 부식성 가스를 장기간 안정적으로 배출하는 기능을 구현합니다.
• 난방 온도 제어 시스템: 시리즈 자기 부상 분자 펌프에는 전기 히터와 온도 컨트롤러가 장착되어 있어 냉각수, 공기 뼈 가열, 전기 가열 및 보호 가스에 의해 운반되는 열을 모니터링하고 작동 중에 제어할 수 있으며 펌프의 온도를 다음 온도로 유지할 수 있습니다. 장기간에 걸쳐 일부 가치, 일부 기체 물질은 상온에서 고체 물질로 전환되지 않고 펌프에 침전되지 않으며 에칭과 같은 특수 공정의 요구 사항을 충족시킬 수 있습니다.

명세서:

신청:

시리즈 자기 부상 분자 펌프는 주로 반도체 제조, 클립 제조, 산업 도금 및 과학 기기 분야, 특히 에칭, CVD, PVD 및 이온 주입에 존재하는 부식성 가스 추출 및 상온에서 쉽게 응고되는 가스에 적용됩니다.