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제품 소개Turbomolecular 펌프

물 냉각 터보몰레큘러 펌프 /는 자홍색으로 보드 제어기에 관해 펌프를 공중에 떠돌게 했습니다

인증
중국 KYKY TECHNOLOGY CO., LTD. 인증
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물 냉각 터보몰레큘러 펌프 /는 자홍색으로 보드 제어기에 관해 펌프를 공중에 떠돌게 했습니다

Water Cooling Turbomolecular Pump / Magentically Levitated Pump On Board Controller
Water Cooling Turbomolecular Pump / Magentically Levitated Pump On Board Controller

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제품 상세 정보:
원래 장소: 중국
브랜드 이름: KYKY
인증: CE
모델 번호: CXF-320/3001E
결제 및 배송 조건:
최소 주문 수량: 1
포장 세부 사항: 해외 선적을 위한 나무 상자
배달 시간: 4weeks
지불 조건: 티 / T는, 패 / C 조
상세 제품 설명
태도: Magnetic 양수 속도: 3200L/s N2
냉각: 플랜지: ISO-F
제어기: 배 안에
하이 라이트:

터보 분자 펌프

,

turbomolecular 진공 펌프

자기 부상 펌프, CXF-320 / 3001E, 수냉식, ISO-F, 기내

전자기 베어링은 또한 자기 베어링, 센서 및 제어 시스템으로 구성된 "능동 자기 부상 곰"이라고도합니다. 이 디자인은 동적 응답과 적시 조정, 고속 축과 안정적인 작동을 제공합니다.

자기 부상 된 분자 펌프는 자력으로 축을지지하는 펌프입니다.

시리즈 자기 부상 API는 최신 반도체 제조, 칩 제조, 산업 도금 및 과학 기기 분야의 응용 요구 사항을 충족시키기 위해 KYKY에서 개발 한 진공 발생 장비입니다.

장점 :

1. 작동 중 마찰이없고 저전력 소모

2. 펌프의 윤활없이 깨끗한 고진공 및 초고 진공을 쉽게 얻을 수 있습니다.

3. 장기간 부식성 가스를 추출 할 수있다.

4. 정밀 세라믹 볼 베어링의 보호로 높은 안전성과 긴 수명

5. 갑작스런 전원 차단시 전원 생성 기능

6. 마찰이없는

7. 공해가 없다.

8. 유지 보수가 필요 없음

9. 낮은 진동

10. 어떤 방향으로 설치.

응용 분야 :

일련의 자기 부상 형 분자 펌프는 주로 반도체 제조, 클립 제조, 산업 도금 및 과학 기기 분야에 사용되며, 특히 에칭, CVD, PVD 및 이온 주입에 존재하는 부식성 가스 및 상온에서 쉽게 응고되는 가스를 추출하는 데 사용됩니다.

명세서:

모델 CXF-320 / 3001
펌프 속도 (l / s, Air) 3200
압축비 > 1 × 10 8
궁극 진공 (Pa) ≤5 × 10-7
입구 플랜지 ISO-F 320
아웃렛 플랜지 KF 40
회전 속도 (rpm) 24000
가동 시간 (분) 12
VIB (mm) <0.05
백업 펌프 (L / s) 15 명
설치 또는 방향 어떤
냉각 방식
무게 (kg) (컨트롤러 포함) 75

기술 :

  • 자기 베어링 제어 기술 : 선진 국제 제어 이론에 기반한 5 축 자기 부상으로 안정적인 부상 및 안정적인 작동과 같은 고속 축의 중요한 이점을 보장합니다.
  • Motor Drive Control Technology : 고효율 고속 DC 모터 및 서보 제어 시스템으로 모터의 최대 에너지를 가지며 축의 회전 속도를 자동으로 보상하여 안정적인 시동, 안정된 운전 및 동적 에너지의 자동 조절 기능을 실현합니다. .
  • 탄소 섬유 복합 로터 기술 : 고강도 알루미늄 합금과 경량 탄소 섬유를 배합 하여 제작되었습니다. 중량의 대폭적인 감소 및 강도의 큰 향상을 특징으로하여, 높은 회전 속도, 고성능 및 높은 신뢰성의 타겟이 달성된다.
  • 부식 방지 기술 : 챔버의 부품 표면을 특수 처리하여 표면이 장시간 반도체 제조 공정에서 부식성 가스로 인한 부식에 견딜 수 있도록합니다. 또한 펌프의 저 진공 부품을 보호하기 위해 펌프의 샤프트에 N2와 같은 불활성 가스가 충만되어 장기간 부식성 가스를 안정적으로 배출하는 기능이 실현됩니다.
  • 가열 온도 조절 시스템 : 전기 히터 및 온도 조절기, 냉각수, 공기 - 뼈 가열, 전기 가열 및 보호 가스에 의해 운반되는 열이 작동 중에 모니터링되고 제어 될 수 있으며, 펌프 내의 온도는 장기간에 걸쳐, 일부 기체 성 물질은 상온에서 고체 물질로 전환되지 않고 펌프에 침전되지 않으며, 에칭과 같은 특수 공정 요건이 충족 될 수있다.

연락처 세부 사항
KYKY TECHNOLOGY CO., LTD.

담당자: sales

전화 번호: +8613810212935

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